研究テーマ ｜ Research theme
工学研究科レーザーおよび電子線誘起超音波顕微システムの開発・応用
Development and Application of Scanning Laser/Electron induced Acoustic Microscope
研究概要 ｜ Research summary
レーザーまたは電子線を用いた試料表面近傍の内部に存在する微小欠陥（微小き裂，空孔など）を，非破壊的に観察することのできる顕微鏡システム（SLAMおよびSEAM）の開発を行っています。表面近傍内部に存在する微小欠陥は，材料の強度，信頼性に大きな影響を及ぼすことがわかっているため，微小欠陥の検出を行うことで製品の長期信頼性を確保することが可能となります。
I have been developing the microscope systems ( SLAM and SEAM ) using laser or electron beam for non-destructive observation of the micro defects (micro crack, void, etc.) just beneath the specimen surface. Micro defects near the surface greatly affect the strength and reliability of the material. Therefore, I think that the development of the non-destructive observation systems for micro defects can ensure long-term reliability of products.
特色・研究成果・今後の展望
SEAMおよびSLAMの長所
- レーザーおよび電子線を用いるため，高倍率の観察ができます。
- 数μmの微小欠陥を検出できます。
- SEAMは，SEMを利用した機器であり，SEMで観察した場所をそのまま内部観察できます。
- SLAMは，材質によらず，内部観察が可能です。
SEAMおよびSLAMの短所
- SEAMでは，導通材料しか観察できません。
- SLAMでは，観察試料の表面性状の影響を受けるため，鏡面研磨できる試料しか観察できません。
今後の展望
- SEAMおよびSLAMともに開発段階の観察装置のため，観察条件，観察試料の材質など未解明なものがあり，数値解析技術を応用した観察の鮮明化を図っていきます。
研究結果（発表論文）
- Mechanical Engineering Journal, Vol.3, No.6, p. 16-00147, (2016)
- J. of Solid Mechanics and Materials Engineering，Vol. 6, No. 6, pp.512-518，（2012） など
社会実装への展望
半導体，MEMS材料などの検査・品質保証などへ応用が可能だと思います。
企業への一言
観察試料の提供を頂ければ，本装置での内部観察可能性について調査いたします。